9025804030
- Densimeters, areometers, vochtwegers en dergelijke drijvende instrumenten, thermometers, pyrometers, barometers, hygrometers en psychrometers, ook indien zelfregistrerend; combinaties van deze instrumenten
- andere instrumenten
- andere
- elektronische
- andere
- elektronische barometrische halfgeleiderdruksensor in een behuizing, hoofdzakelijk bestaande uit: - een combinatie van een of meer monolithische toepassingsspecifieke geïntegreerde schakelingen (ASIC's) en - ten minste een of meer micro-elektromechanische sensorelementen (MEMS) vervaardigd met behulp van halfgeleidertechnologie, met mechanische componenten geplaatst in driedimensionele structuren op het halfgeleidermateriaal